La serie PFM de SMC son interruptores de caudal doble diseñados para detectar adsorción de componente de microchip en vacío, congestión en filtros y boquillas. Diseño ligero y compacto, adecuado para utilizar con dióxido de carbono, aire, nitrógeno o argón.
Intervalo de velocidad de caudal: 10, 25, 50,100 l/min Ajuste de unidad mínimo: 0,01 l/min Repetitividad: ±1%F. S. o menos Libres de grasa La válvula de ajuste de caudal está integrada: número reducido de tuberías y ahorro de espacio El tiempo de respuesta se puede ajustar
La serie PFM de SMC son interruptores de caudal doble diseñados para detectar adsorción de componente de microchip en vacío, congestión en filtros y boquillas. Diseño ligero y compacto, adecuado para utilizar con dióxido de carbono, aire, nitrógeno o argón.
Intervalo de velocidad de caudal: 10, 25, 50,100 l/min Ajuste de unidad mínimo: 0,01 l/min Repetitividad: ±1%F. S. o menos Libres de grasa La válvula de ajuste de caudal está integrada: número reducido de tuberías y ahorro de espacio El tiempo de respuesta se puede ajustar